Máquina de sputtering magnetron à venda

Tipos de máquinas de pulverização por magnetrão à venda

Uma máquina de pulverização por magnetrão utiliza uma técnica de deposição física de vapor (PVD) para revestir superfícies sólidas. Este revestimento pode ser decorativo ou funcional. Existem 3 tipos principais de **máquinas de pulverização por magnetrão à venda**;

• Pulverização por magnetrão de corrente contínua: Em um dispositivo de pulverização por magnetrão de corrente contínua, uma fonte de alimentação de corrente contínua fornece ao material do alvo uma carga negativa. Isso atrai íons positivos que vêm do gás na câmara. O bombardeio de íons leva à ejeção de átomos do material do alvo. Esses átomos ejetados viajam através da câmara de vácuo e condensam no substrato para formar um filme fino. A pulverização por magnetrão de corrente contínua funciona bem com materiais de alvo condutores.
• Pulverização por magnetrão de RF: Um dispositivo de pulverização por magnetrão de RF tem uma fonte de alimentação que oscila em uma frequência de rádio. Isso cria um plasma negativo de polarização própria no alvo do magnetrão. Embora seja semelhante a um magnetrão de corrente contínua, a flutuação de potência de RF facilita a ionização do gás. O magnetrão de corrente contínua funciona apenas com materiais condutores, mas o magnetrão de RF pode funcionar com materiais dielétricos (não condutores) como cerâmica.
• Pulverização por magnetrão de corrente contínua pulsada: Este dispositivo possui uma descarga de plasma de corrente contínua. Isso cria um plasma duradouro que proporciona taxas de crescimento de filme consistentes. O material do alvo em um dispositivo de pulverização por magnetrão de corrente contínua pulsada tem a mesma capacidade de funcionamento de um magnetrão de corrente contínua. No entanto, o equipamento pode funcionar com gases mais reativos, como oxigênio.

Especificação e manutenção

As especificações do sistema de pulverização por magnetrão a serem consideradas variam de acordo com a aplicação pretendida. As principais especificações da máquina de pulverização por magnetrão a serem consideradas são o material do alvo e o requisito de revestimento.

• Materiais de alvo

  O dispositivo de pulverização por magnetrão é projetado para usar um material de alvo específico. O tipo de material do alvo determina o revestimento formado no substrato. Os materiais de alvo do magnetrão incluem metais como zinco, titânio, cobre, prata e alumínio. Também inclui ligas como latão e aço, nitretos, como nitreto de titânio, óxidos como óxido de estanho de índio e óxidos cerâmicos, e materiais dielétricos.

• Revestimento necessário

  O revestimento desejado em um substrato requer um material de alvo específico. Por exemplo, titânio e zinco servem como revestimentos metálicos protetores. Materiais como nitreto de titânio ou óxido de zircônio são escolhidos para revestimentos que exigem alta dureza e resistência ao desgaste.

• Compatibilidade do substrato

  O material do substrato usado em uma aplicação também pode determinar o material do alvo de pulverização. Por exemplo, pastilhas de vidro ou silício podem exigir um alvo de óxido de estanho de índio para serem eletricamente transparentes. Além disso, metais, óxidos ou materiais dielétricos podem ser pulverizados para atingir um revestimento em um substrato.

Manutenção

O principal benefício dos dispositivos de pulverização é sua durabilidade. Isso ocorre porque os dispositivos são usados em tarefas de deposição que exigem altos níveis de vácuo. Portanto, apenas algumas tarefas de manutenção de rotina podem ajudar a manter o dispositivo funcionando bem.

• Verificações regulares do sistema

  Os operadores devem realizar verificações visuais regulares do sistema de revestimento por pulverização. Os usuários devem prestar atenção a qualquer possível desgaste das peças do dispositivo e a qualquer vazamento de gás ou vácuo. Examine as vedações e juntas para garantir uma vedação de vácuo adequada e evite qualquer vazamento de gás não intencional. Inspecione e revise prontamente quaisquer peças danificadas para garantir um desempenho confiável e evitar defeitos de revestimento.

• Calibrar o sistema

  Ocasionalmente, o dispositivo de pulverização precisa ser calibrado ou ajustado para manter a precisão e uniformidade ideal da espessura do revestimento. Siga as diretrizes do fabricante para fazer os ajustes necessários e determinar se os parâmetros do pulverizador precisam ser ajustados finamente para requisitos de revestimento específicos.

• Limpar o equipamento

  A limpeza do dispositivo é necessária apenas quando necessário. Use um pano sem fiapos e um solvente recomendado pelo fabricante para remover quaisquer contaminantes. O interior da câmara de pulverização também pode ser limpo usando técnicas de plasma ou feixe de íons. Durante a limpeza, os operadores devem evitar o uso de materiais abrasivos e a exposição a umidade excessiva que pode danificar o equipamento.

Cenários de uso de máquinas de pulverização por magnetrão

• Revestimento de vidro para células solares:

  O revestimento superficial de vidro é uma aplicação típica de máquinas de pulverização por magnetrão. Os substratos de vidro exigem óxidos condutores transparentes como ITO (óxido de estanho de índio) e AZO (óxido de zinco dopado com alumínio). Ao aplicar o revestimento por meio da pulverização por magnetrão, esses substratos de vidro podem atingir qualidades superiores adequadas para as necessidades de células solares.

• Revestimento óptico:

  O revestimento óptico é outra aplicação comum para máquinas de pulverização por magnetrão. Por exemplo, espelhos dielétricos multicamadas e divisores de feixe podem ser fabricados com precisão por meio do método. Os dispositivos de revestimento óptico podem usar uma unidade de controle que permite programar diferentes parâmetros como temperatura, pressão e outros; portanto, torna-se mais fácil produzir revestimentos ópticos com alta precisão. As máquinas de pulverização por magnetrão conseguem isso ao permitir a deposição de filmes finos em elementos ópticos como lentes ou espelhos.

• Revestimento de ferramentas:

  As máquinas de pulverização por magnetrão aumentam a durabilidade das ferramentas, entre outras coisas, revestindo-as com materiais duros como TiN (nitreto de titânio), TiC (carbeto de titânio), CrN (nitreto de cromo), etc., que podem ser obtidos por meio da ferramenta da máquina, prolongando a vida útil desses instrumentos consideravelmente.

• Revestimento de material biológico:

  Biocientistas e pesquisadores médicos têm usado frequentemente máquinas de pulverização por magnetrão para aplicar filmes metálicos finos em materiais biológicos como tecidos e células para vários procedimentos de diagnóstico ou abordagens terapêuticas. Esses revestimentos podem facilitar a transferência de elétrons e melhorar o desempenho do sensor.

• Revestimento tribológico:

  Os revestimentos tribológicos são uma das principais aplicações de máquinas de pulverização por magnetrão. Os revestimentos reduzem o atrito e o desgaste, resultando em melhoria da vida útil e confiabilidade dos componentes mecânicos. Por exemplo, revestimentos DLC (carbono semelhante ao diamante), entre outros, podem ser feitos por meio dessas máquinas.

Como escolher máquinas de pulverização por magnetrão à venda

É essencial realizar uma pesquisa completa antes de comprar uma máquina de pulverização por magnetrão. Isso inclui principalmente estudar os vários tipos de máquinas de revestimento por pulverização e conhecer seus recursos e capacidades. Fazer isso ajudará a tomar uma decisão informada sobre a máquina que atenda às suas necessidades e requisitos.

Considere a natureza e os requisitos da aplicação de revestimento. Qual é o material e o tamanho do substrato? Qual é o material e a espessura do revestimento desejados? Qual é o uso pretendido ou a aplicação do substrato revestido? As respostas a essas perguntas ajudarão a identificar as capacidades de revestimento da máquina de pulverização por magnetrão que precisa ser adquirida.

Considere a escala de produção e a velocidade de revestimento necessária. Se você trabalha em uma configuração de produção em grande escala, procure uma máquina que ofereça taxas de revestimento de alto rendimento. Isso visa garantir que o processo de revestimento permaneça eficiente, mantendo a qualidade dos revestimentos. Se você trabalha em uma configuração de pequena escala ou de pesquisa, concentre-se mais na precisão e flexibilidade do revestimento da máquina. Muitos sistemas de revestimento por pulverização projetados para uso em pequena escala ou pesquisa têm vários suportes de alvo. Alguns até têm a opção de incluir mais de um material de alvo, o que permite que os usuários tenham uma ampla gama de materiais de revestimento.

Considere o sistema de controle e os recursos de automação da máquina de pulverização por magnetrão. Ele possui uma interface de tela sensível ao toque? Ele possui controle computadorizado e software para controle e monitoramento de parâmetros? Procure uma máquina com uma interface amigável. Ela também deve ter recursos avançados de controle e registro de dados para permitir processos reprodutíveis e revestimentos regulamentados.

Considere os acessórios que acompanham a máquina de pulverização. Isso pode incluir coisas como o sistema de bomba de vácuo, monitor de deposição ou sistema de controle de fluxo de gás. Algumas máquinas de pulverização por magnetrão têm esses acessórios como opcionais. Mais de um tipo de acessório pode ser adicionado à máquina, o que aumenta suas capacidades de revestimento.

Por fim, considere o fornecedor ou fabricante da máquina de pulverização por magnetrão. Um bom fornecedor fornecerá ao comprador coisas como suporte de instalação e manutenção, bem como manuais do usuário detalhados. Eles também terão um bom e oportuno serviço pós-venda.

Máquina de pulverização por magnetrão à venda Q&A

P1: Quais são as últimas tendências na tecnologia de pulverização por magnetrão?

A1: Um desenvolvimento recente na área da tecnologia de pulverização por magnetrão é o sistema de deposição por pulverização de dupla fonte. De acordo com relatos, o sistema permite depositar filmes com composições químicas variáveis e permite que o material do alvo seja variado in situ durante o processo.

P2: Qual é a vida útil dos alvos de pulverização por magnetrão?

A2: A vida útil de um alvo de pulverização por magnetrão depende de vários fatores, incluindo o material do alvo, a taxa de deposição, a pressão de operação e o sistema de refrigeração.

P3: O vácuo de pulverização por magnetrão é necessário?

A3: Sim, a pulverização ocorre prontamente em vácuo. Na verdade, uma máquina de pulverização por magnetrão usa um alto vácuo para fornecer uma área livre de colisões na qual os íons podem acelerar para obter energia suficiente para desalojar os átomos do alvo.